德國蔡司掃描電鏡SEM的原理-華普通用

發(fā)表日期:2021/08/20 瀏覽次數(shù):

?sem掃描電鏡的原理是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用,掃描電鏡從原理上講就是利用聚焦得非常細(xì)的高能電子束在試樣上掃描,激發(fā)出各種物理信息。通過對這些信息的接收、放大和顯示成像,獲得測試試樣表面形貌的觀察。
??sem是一種電子顯微鏡,中文名為掃描電子顯微鏡,通過用聚焦電子束掃描樣品的表面而產(chǎn)生樣品表面的圖像。它由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號收集及顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)組成,應(yīng)用于生物、醫(yī)學(xué)、材料和化學(xué)等領(lǐng)域。掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學(xué)顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質(zhì)性能進(jìn)行微觀成像。掃描電鏡的優(yōu)點是,有較高的放大倍數(shù),20-20萬倍之間連續(xù)可調(diào);有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細(xì)微結(jié)構(gòu);試樣制備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時進(jìn)行顯微組織形貌的觀察和微區(qū)成分分析,因此它是當(dāng)今十分有用的科學(xué)研究儀器。

掃描電鏡

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